LYRA 3

 Intermediate Lens’i ile birlikte patentli Wide Field Optics teknolojisi 1X’e kadar büyütme sağlayarak görüntüleme modunda ve genişliğinde çeşitlilik sağlar
 Yüksek çözünürlüklü görüntüleme için doğru hesaplama ve parametreleri optimize etmek için dizaynlanmış, tamamen otomatik operasyona izin veren TESCAN patentli eşsiz ve ileri In-Flight Beam TracingTM teknolojisi.
 Intermediate Lens, ‘’aparture changer’’ olarak görev alarak etkin son aparture’ü elektromanyetik olarak değiştirir
 Tam otomatik elektron optik kurulum ve dizaynı
 Hızlı görüntüleme
 3D Beam ile eşsiz canlı stereoskopik görüntüleme
 Müthiş 3D deneyime ve 3D navigasyona izin veren teknolojisi ile mikro ve nano dünyaya açılan kapı
 Opsiyonel Beam Blanker ile E-Beam litografi
a